教育经历 
1994.9 - 1999.4        清华大学          精密仪器与机械学系          工学硕士和工学博士         
1989.9-1994.7          清华大学          精密仪器与机械学系          工学学士       

研究领域

• 分析仪器，医疗器械，测控技术，微型机电系统（MEMS），装备制造
• 分析仪器：高场非对称波形离子迁移谱（FAIMS）、便携式质谱、开放式离子源、矩形离子阱、小型离子迁移谱仪器、激光诱导击穿光谱（LIBS）；便携式仪器集成技术；分析仪器在食品安全、环境监测等领域的应用。
• 生物医疗器械：无创血糖检测技术、人工心脏辅助装置等。 
• 微型机电系统（MEMS）：MEMS高温传感技术、MEMS可穿戴设备、MEMS微流体器件和系统、MEMS能量采集等应用研究 
• 精密测控技术和装备制造：解决一些企业在自动化生产和检测装备上的需求，包括精密测量、图像处理和识别、自动装配等技术和设备研发。

工作经历       
2015.6-现在            清华伯克利深圳学院          PI          
2014.10-现在          清华大学深圳研究生院       副院长          
2012.12-2014.10     清华大学精密仪器系          党委书记          
2012.7-现在            深圳市LED封装技术重点实验室          主任          
2011.12-现在          清华大学海洋技术研究中心                副主任          
2011.3-2015.7         清华大学深圳研究生院先进制造学部        主任          
2010.12-现在           清华大学          研究员          
2009.12-现在           清华大学质谱仪器研究中心          副主任          
2006.6-现在             清华大学微米纳米技术研究中心       副主任          
2007.1-2008.5          德国柏林工业大学            访问学者          
2001.8-2010.11        清华大学          副研究员          
1998.8-2001.8          清华大学          讲师          
1995.8-1997.7          清华大学精密仪器与机械学系        本科生辅导员   

奖项荣誉
发表学术论文200余篇，其中SCI和EI检索100余篇。授权发明专利20余项。 
2012年获得清华大学先进工作者 
2011年获得清华大学百年校庆先进个人 
2010年研究成果“微型泵（喷）的设计理论与技术基础”获得北京市科学技术奖（二等），个人排名第五
2009年作为主要成员入选教育部创新团队 
2007-2008年在德国柏林工业大学做访问科学家1年半
2005年获国家留学基金全额资助
2005年研究成果“基于MEMS的载体测控系统及其关键技术研究”获得国家科学技术发明奖（二等），个人排名第四 
2004年获得教育部首届“新世纪优秀人才支持计划”支持 
2004年研究成果“基于MEMS的载体测控系统及其关键技术研究”获得教育部提名国家科学技术奖技术发明奖（一等），个人排名第四 
2003年研究成果“新型微流体器件、结构加工和相关应用研究”获得教育部提名国家科学技术奖（一等），个人排名第三
2000年研究成果“微小型泵及其相关技术研究”获得国家技术发明奖（四等），个人排名第六
1999年研究成果“微小型泵及其制造测试技术研究”获得教育部科技进步奖（发明类）二等奖，个人排名第六